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第 6 章 顧客サポートについて
6.4 ウェーハマニュファクチャリングサービス
富士通では , 下記のようなウェーハマニュファクチャリングサービスが提供できます。
・標準サービス
お客様が設計された GDSII データをご提供いただき , それに基づいて MASK 作成およびウェーハ
プロセスを行い , PCM 判定完のウェーハを出荷するサービスです。
・MASK 作成
富士通ではお客様から提供いただいた GDSII データを基に MASK 作成業務も行います。ウェーハ
プロセスと連携することにより , 適時に MASK の供給を行います。
・ウェーハプロセス
現在 , ウェーハマニュファクチャリングサービスでは三重 , 若松 , 岩手 , あきる野テクノロジセン
ターの 4 工場のウェーハプロセスにて対応しています。FRAM ウェーハマニュファクチャリングサー
ビスでは , 岩手工場のウェーハプロセスにて対応しています。
・オプション #1
標準サービスに続けて , ウェーハ試験を行うサービスです。お客様から試験プログラムを提供いた
だければ , デバイス機能に応じロジック / アナログ / メモリ用のテスタを用いて , ウェーハ試験を行い
出荷します。
・オプション #2
標準サービスおよびオプション #1 に続けて組立てを行うサービスです。お客様から組立て配線図
およびリードフレームの情報をいただければ , 組立てたデバイスとして出荷します。
・オプション #3
標準サービス , オプション #1 およびオプション #2 に続けて , LSI 試験を行うサービスです。お客
様から LSI 試験プログラムの提供をいただければ , デバイス機能に応じロジック / アナログ / メモリ
用のテスタを用いて , 試験済デバイスとして出荷します。
図 6.4 ファウンドリサービスフロー
GDS-II
LSI